最後更新:2026年10月8日製程節點・元件結構記憶體半導體中國大陸:存储器工艺

記憶體製程是什麼

Memory Process

記憶體製程是製造 DRAM・NAND Flash・SRAM・NOR Flash 等半導體記憶體元件的專用製程技術總稱,以記憶單元高密度化、低成本化與高可靠度為主要設計目標。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 相關企業
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

記憶體製程(Memory Process)是製造 DRAM・NAND Flash・SRAM・NOR Flash 等半導體記憶體元件的專用製程技術總稱。其最佳化方向與邏輯製程(CPU・GPU 製造)不同,記憶單元的高密度化・低成本化・高可靠度是主要的設計目標。

DRAM 製程的核心在於形成高密度的記憶單元(1T1C:1個電晶體+1個電容)結構。電容隨著微縮演進為圓柱型・柱狀型的高深寬比結構,電容絕緣層使用 ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ 的 High-k 材料(ALD 成膜)。目前最先進的是1ynm(10nm級後段)~1anm(10nm級前段)世代,三星・SK 海力士・美光寡占 DRAM 市場約95%。EUV 曝光(ASML)的採用也正迅速推進。

3D NAND 製程是將 NAND Flash 記憶單元沿垂直方向堆疊,大幅提升面積效率。目前已量產超過200層(美光 232L、SK 海力士 238L、三星 V8 238L)的多層堆疊。核心製程依序為:SiO₂/SiN 交替堆疊(CVD)→超高深寬比通道孔蝕刻(科林研發・東京威力科創)→ALD(High-k 電荷儲存層)→多晶矽(Poly-Si)通道形成→金屬閘極填充(CVD-W)→多堆疊(multi-stack)內連線。

SRAM 製程以邏輯製程為基礎,高密度形成6電晶體單元(6T SRAM)結構。作為 SoC 內的 L2/L3 快取記憶體使用,需要以最先進邏輯節點(台積電 N3、三星 SF3)製造。NOR Flash 雖然密度低,但隨機存取速度快,持續作為微控制器・車用 ECU 的程式碼儲存使用。

記憶體製造的主要供應商中,提供針對 DRAM 與 NAND 最佳化之製程設備的應用材料、科林研發、東京威力科創、艾司摩爾(EUV)、科磊(缺陷檢測)相當重要。特別是 HBM 需求的快速擴大,正推動對 DRAM 製造設備的大規模投資,帶動記憶體製程設備市場的成長。

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