韋伯分布(Weibull Distribution)是用來表示產品或零件損壞前時間(壽命)差異時最常使用的機率分布。由瑞典的Waloddi Weibull為分析材料強度而提出。到時刻t為止發生故障的比例(累積故障率)F(t)以F(t)=1−exp[−(t/η)^β]表示,分布形狀由形狀參數β(beta)與尺度參數η(eta)這2個參數決定。
韋伯分布的一大優點是可從形狀參數β的數值判讀故障的性質。β<1代表故障率隨時間下降的早期故障型,β=1代表故障率固定的隨機故障型,β>1則代表故障率隨時間上升的磨耗故障型,分別對應浴缸曲線的3個時期。β=1時與故障率固定的指數分布一致,平均故障時間(MTTF)為故障率λ的倒數。尺度參數η是整體約63.2%發生故障所需的時間,稱為特性壽命。
在半導體的可靠度評估中,韋伯分布用於分析閘極氧化層絕緣崩潰(TDDB)、導線電遷移、焊料接點熱疲勞等壽命資料。將故障時間繪製在取雙對數的韋伯機率紙(韋伯圖)上,服從韋伯分布的資料會排成直線,其斜率即為β,累積63.2%的點即可讀出η。再以加速模型將加速測試所得的η換算到實際使用條件,判定是否滿足目標故障率。可使用Semirai的韋伯工具,從參數計算F(t)與故障率。