可靠度試驗設備是將半導體元件置於高溫、高電壓、溫度循環等應力條件下，進行預燒（Burn-in）試驗以加速並剔除早期故障，以及進行長期可靠度評估的設備。在車用、航太等要求高可靠度的領域尤其重要。
愛德萬測試、Aehr Test Systems、泰瑞達為主要廠商。隨著SiC功率元件量產擴大，對晶圓級預燒設備的需求急速增加。
可靠度試驗是以加速方式施加高溫、高電壓、溫度循環、高溫高濕等應力，在短時間內評估產品壽命與早期不良。代表例為預燒（在高溫下施加電壓以篩出早期不良），在出貨前剔除潛在不良品。
車用、工業與功率半導體尤其要求高可靠度，試驗項目與規範（AEC-Q100等）相當嚴格。隨著SiC功率元件普及，對應高溫、高電壓的可靠度試驗設備需求升高。愛德萬測試、Aehr Test Systems、泰瑞達為主要廠商。