最後更新:2026年10月23日研磨液供應・回收設備

Mega MFⅦ的特點與規格

Air Water・研磨液供應・回收設備

依液體種類調整研磨液濃度與粒徑後進行調配・集中供應的設備。透過與 Kinetics 公司的授權合約在日本國內製造。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Mega MFⅦ 是 Air Water Mechatronics 的 CMP 研磨液調配・供應系統。針對半導體工廠的 CMP 設備,以及研磨玻璃・矽等基板的設備,調配並供應研磨液藥液。依據與 Kinetics Equipment Group 的授權合約在日本國內製造。

CMP 研磨液是含有磨粒的液體,一旦發生沉降或凝聚,就會造成研磨刮傷與研磨速率不均。本系統以均質且穩定處理研磨液的技術為特點,標榜全年 365 天 24 小時穩定供應,以及最多降低 70% 的維護成本。

產品陣容除了 CMP 設備用的集中供應系統外,還有研發用的局部供應系統、過硫酸銨(APS)粉末的集中供應、界面活性劑的加壓輸送集中供應、過氧化氫水的自動濃度量測・補充系統(ATRS),以及監控與資料擷取系統(SCADA)。

主要規格

供應方式集中調配・供應(也有研發用的局部供應)
特點研磨液的均質・穩定處理,維護成本最多降低 70%
主要用途對半導體工廠 CMP 製程供應研磨液

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

研磨液的均質・穩定處理技術
全年 365 天 24 小時穩定供應
維護成本最多降低 70%
H₂O₂ 自動濃度量測・補充、SCADA 等周邊系統

主要用途

  • 對半導體工廠 CMP 製程集中供應研磨液
  • 研發用的局部供應

製造商

Air Water(總部:日本)

所屬設備分類

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資料來源

  1. Air Water 官方產品頁面:CMP