最後更新:2026年10月23日準分子雷射振盪器

LEAP 系列的特點與規格

高意(Coherent)・準分子雷射振盪器

高意(Coherent)以高工作週期輸出高能量脈衝的 UV 準分子雷射。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

LEAP 系列是高意(Coherent)的工業用準分子雷射,具備高工作週期的輸出、優異的可靠度與低持有成本,設計用於電子與顯示器的生產環境。

波長有 193nm、248nm、308nm 3 種,最大輸出從 50W 到 600W。有 193nm 的 LEAP 50A~60A、248nm 的 LEAP 80K~300K、308nm 的 LEAP 80C~600C,最大脈衝頻率 100~300Hz,脈衝能量依機種為 250~1,250mJ。

廠商列舉的主要用途為脈衝雷射沉積(PLD)、雷射直接圖案化(LDP)、微細結構加工,以及微型 LED 的雷射誘導前向轉移(LIFT)。也用於超導線材的 PLD 製造,以及 DLC 膜的高速成膜・退火。

主要規格

雷射種類UV 準分子(高脈衝能量)
特點高工作週期・低持有成本
主要用途先進封裝的 ELA・雷射剝離・PLD

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

193/248/308nm 3 種波長
最大輸出 50~600W
脈衝能量 250~1,250mJ
高工作週期・低 CoO

主要用途

  • 脈衝雷射沉積・雷射直接圖案化
  • 微型 LED 的 LIFT・微細結構加工

製造商

高意(Coherent)(總部:美國)

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資料來源

  1. 高意(Coherent)官方產品頁面:Coherent LEAP