LEAP シリーズ

高デューティサイクルで高エネルギーパルスを出す Coherent の UV エキシマレーザー。

LEAP シリーズとは

LEAP シリーズは、Coherent の産業用エキシマレーザーです。高いデューティサイクルの出力、優れた信頼性、低い所有コストを持ち、エレクトロニクスとディスプレイの生産環境で使われるよう設計されています。

波長は 193nm、248nm、308nm の 3 種類で、最大出力は 50W から 600W までです。193nm の LEAP 50A〜60A、248nm の LEAP 80K〜300K、308nm の LEAP 80C〜600C があり、最大パルス周波数は 100〜300Hz、パルスエネルギーは機種により 250〜1,250mJ です。

メーカーが挙げる主な用途は、パルスレーザー堆積（PLD）、レーザー直接パターニング（LDP）、微細構造加工、マイクロ LED のレーザー誘起前方転写（LIFT）です。超電導線材の PLD 製造や、DLC 膜の高速成膜・アニールにも使われています。

主な特長

•193／248／308nm の 3 波長
•最大出力 50〜600W
•パルスエネルギー 250〜1,250mJ
•高デューティサイクル・低 CoO

主な仕様

レーザー種別	UV エキシマ（高パルスエネルギー）
特徴	高デューティサイクル・低保有コスト
主要用途	先端パッケージの ELA・レーザーリフトオフ・PLD

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ギガフォトンGT66A	コヒレント（Coherent Corp.）LEAP シリーズ
レーザー種別	ArF エキシマ（液浸露光用）	UV エキシマ（高パルスエネルギー）
特徴	スペックルコントラスト 30% 低減・メンテナンス周期 30% 延長	高デューティサイクル・低保有コスト
主要用途	5nm 以降の ArF 液浸露光光源	先端パッケージの ELA・レーザーリフトオフ・PLD