VaporSorb 是英特格（Entegris）的 AMC（氣態分子汙染物）過濾器，可去除空氣中酸、鹼、有機物等分子態汙染。
有設備用與廠務用，安裝於外氣空調箱、FFU 上方或設備內部。VaporSorb TRK 支援 22nm 以下的製程。
VaporSorb AMC 濾網的特點與規格
英特格（Entegris）・化學濾網（AMC 去除）
英特格（Entegris）去除酸・鹼・有機物等分子汙染的 AMC 過濾器。有設備用與廠務用。
產品概要
主要規格
| 對象汙染 | 分子態的酸・鹼・有機物 |
|---|---|
| 特點 | VaporSorb TRK 支援 22 nm 以下製程 |
| 主要用途 | 外氣空調箱・FFU 上方・設備內的 AMC 去除 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
去除酸・鹼・有機物的 AMC
設備用・廠務用
支援 22nm 以下的 TRK
主要用途
- 無塵室的 AMC 對策
- 設備內的 AMC 去除
製造商
英特格（Entegris）（總部：美國）