VaporSorb AMC フィルタとは
VaporSorb は、Entegris の AMC（分子状汚染物質）フィルタです。空気中の酸、塩基、有機物などの分子状の汚れを取り除きます。
装置用と施設用があり、外調機や FFU の上部、装置の内部に取り付けます。VaporSorb TRK は 22nm 以下の工程に対応します。
主な特長
- •酸・塩基・有機物の AMC を除去
- •装置用・施設用
- •22nm 以下に対応する TRK
主な仕様
| 対象汚染 | 分子状の酸・塩基・有機物 |
|---|---|
| 特徴 | VaporSorb TRK は 22 nm 以下の工程に対応 |
| 主要用途 | 外調機・FFU 上部・装置内の AMC 除去 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 日本無機長寿命形ケミカルフィルタシリーズ | EntegrisVaporSorb™ AMC フィルタ |
|---|---|---|
| 対象汚染 | アルカリ性・酸性・有機ガス（3 種を組合せ） | 分子状の酸・塩基・有機物 |
| 特徴 | 従来品比約 2 倍の寿命 | VaporSorb TRK は 22 nm 以下の工程に対応 |
| 主要用途 | 外調機・クリーンルーム・装置内の AMC 除去 | 外調機・FFU 上部・装置内の AMC 除去 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •クリーンルームの AMC 対策
- •装置内の AMC 除去
掲載カテゴリ
VaporSorb AMC フィルタは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Entegris
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07