化學濾網（AMC 去除）是什麼
化學濾網是去除氣態汙染物質（AMC：氣態分子汙染物）而非微粒的濾網。空氣中的氨會中和化學增幅型光阻中的酸，使圖案尺寸偏移；有機酸與矽氧烷則會附著在透鏡或晶圓表面，成為缺陷的原因。以活性碳或離子交換纖維吸附去除，並依對象為鹼性、酸性或有機物分別使用不同濾材。HEPA 濾網只能去除微粒，因此在微影區域這種濾網是必備的。
重點整理
去除氣態分子汙染（AMC）而非微粒的濾網
氨會造成化學增幅型光阻的尺寸變動
依對象物質的性質分別使用活性碳・離子交換纖維
在微影區域是必備的設施構件
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