Apollo 是 FormFactor 針對晶圓代工・邏輯的探針卡系列。在晶圓測試中,使大量探針接觸晶片電極並與測試機連接。
格點陣列的最小間距為 80µm(選配 135µm),有含傳統眼鏡蛇型(Cobra)探針的垂直式與垂直 MEMS 式探針。針對 Cu 柱的超低針壓 MEMS 探針為每根 1.5~2.5g,在帶焊料帽 Cu 柱的量產中為每根未滿 2g。
支援 X8~X16 的多晶粒同測與 20,000~30,000 針,每根最多可通過 1A 電流。用於行動裝置基頻・應用處理器、遊戲機多核心處理器、GPU、車用微控制器,以及凸塊與 Cu 柱覆晶的測試。