最後更新:2026年10月23日探針卡

Apollo MF100的特點與規格

FormFactor・探針卡

FormFactor 針對覆晶・凸塊前・Al 焊墊的 MEMS 垂直式探針卡。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Apollo 是 FormFactor 針對晶圓代工・邏輯的探針卡系列。在晶圓測試中,使大量探針接觸晶片電極並與測試機連接。

格點陣列的最小間距為 80µm(選配 135µm),有含傳統眼鏡蛇型(Cobra)探針的垂直式與垂直 MEMS 式探針。針對 Cu 柱的超低針壓 MEMS 探針為每根 1.5~2.5g,在帶焊料帽 Cu 柱的量產中為每根未滿 2g。

支援 X8~X16 的多晶粒同測與 20,000~30,000 針,每根最多可通過 1A 電流。用於行動裝置基頻・應用處理器、遊戲機多核心處理器、GPU、車用微控制器,以及凸塊與 Cu 柱覆晶的測試。

主要規格

探針方式MEMS 垂直式探針
適用元件GPU・遊戲機 MPU・車用微控制器・AP
相關產品SmartMatrix(DRAM・HBM 的 300mm 全片一次接觸)
主要用途邏輯的晶圓測試

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

最小間距 80µm 的格點陣列
垂直式・垂直 MEMS 式探針
X8~X16 同測、20,000~30,000 針
每根最多 1A

主要用途

  • 行動 AP・GPU・遊戲機處理器的晶圓測試
  • 車用微控制器・覆晶的測試

製造商

FormFactor(總部:美國)

所屬設備分類

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資料來源

  1. FormFactor 官方產品頁面:FormFactor Apollo