Apollo MF100とは
Apollo は、FormFactor のファウンドリ・ロジック向けプローブカードのファミリーです。ウェーハテストで、チップの電極に多数のプローブを接触させてテスタとつなぎます。
グリッドアレイの最小ピッチは 80µm（135µm オプション）で、従来のコブラ型ワイヤを含む垂直型と垂直 MEMS 型のプローブがあります。Cu ピラー向けの超低荷重 MEMS プローブは 1.5〜2.5g/本で、はんだキャップ付き Cu ピラーの量産では 2g/本未満です。
X8〜X16 の多数個同時測定と 20,000〜30,000 ピンに対応し、1 本あたり最大 1A の電流を流せます。モバイルのベースバンド・アプリケーションプロセッサ、ゲーム機のマルチコアプロセッサ、GPU、車載マイコン、バンプや Cu ピラーのフリップチップの試験に使われます。
主な特長
- •最小ピッチ 80µm のグリッドアレイ
- •垂直型・垂直 MEMS 型プローブ
- •X8〜X16 同時測定、20,000〜30,000 ピン
- •1 本あたり最大 1A
主な仕様
| プローブ方式 | MEMS 垂直プローブ |
|---|---|
| 対象デバイス | GPU・ゲーム機 MPU・車載マイコン・AP |
| 関連製品 | SmartMatrix（DRAM・HBM の 300mm 全面一括） |
| 主要用途 | ロジックのウェーハテスト |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | FormFactorApollo™ MF100 | 日本マイクロニクスU-Probe | TechnoprobeTPEG™ MEMS |
|---|---|---|---|
| プローブ方式 | MEMS 垂直プローブ | MEMS マイクロカンチレバー | 垂直 MEMS プローブ |
| 対象デバイス | GPU・ゲーム機 MPU・車載マイコン・AP | メモリ（12 インチ一括・約 2,500 DUT） | 高性能・高密度 SoC |
| 関連製品 | SmartMatrix（DRAM・HBM の 300mm 全面一括） | MEMS-SP／MEMS-V | カンチレバー型プローブカード |
| 主要用途 | ロジックのウェーハテスト | メモリのウェーハテスト | 狭ピッチ・大電流のウェーハテスト |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •モバイル AP・GPU・ゲーム機プロセッサのウェーハテスト
- •車載マイコン・フリップチップの試験
掲載カテゴリ
Apollo MF100は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
FormFactor
プローブカード・ウェハプローバの世界的リーダー。先端ロジック・DRAM・3D-IC向け超高精度電気テストインターフェースを提供。
プローブカードのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06