探針卡是什麼

探針卡是在晶圓測試中，將測試機與晶片焊墊電性連接的治具。必須讓數百～數萬根探針，以規定的針壓同時接觸數十 μm 的焊墊。分為懸臂式、垂直式，以及以 MEMS 技術製作的 MEMS 探針卡，隨著焊墊數增加與多顆同測的需求，正逐步轉向後者。附著在針尖的氧化膜或鋁屑會使接觸電阻上升，因此需要定期清潔，其頻率與探針壽命直接影響測試成本。