最後更新:2026年10月23日液體・氣體用零組件(接頭・管材)

整合式氣體系統 IGS的特點與規格

Fujikin・液體・氣體用零組件(接頭・管材)

將閥件類集積化、省去配管與接頭的 Fujikin 氣體供應系統。內建壓力式流量控制器 FCS。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

IGS(集積化氣體系統)是 Fujikin 的氣體供應系統集積化技術。將閥、過濾器、調壓器等單體元件排列在基座塊(base block)上,以 W 密封連接,構成半導體製造設備的氣體箱(gas box)。

W 密封接頭沿襲 UPG 的密封方式,以 2 支螺栓密封 1 處。可搭載壓力控制式流量控制器 FCS,不會因供應壓力變動而產生流量變動,因此在多腔體環境下也能穩定供應氣體。也具備吸收鈑金與下部基座塊製作誤差的調平系統。

縮小至既有系統的約 3 分之 1,且可從上方拆裝元件,使更換作業時間縮短至約 5 分之 1。洩漏量為每 1 秒 1,000 兆分之 1cc 以下。用於薄膜 CVD、蝕刻設備、多腔體系統與氣體分配的分歧箱,並於 2005 年獲得第 1 屆日本製造大獎(Monozukuri Nippon Grand Award)優秀獎。

主要規格

種類集積化氣體供應系統
特點縮小至既有型的約 1/3・可從單一方向保養
相關機型FCS(壓力式流量控制)
主要用途半導體製造設備的超高純度氣體供應

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

基座塊+W 密封的集積化結構
比既有型縮小約 1/3、更換時間約 1/5
搭載 FCS,耐供應壓力變動
洩漏量每 1 秒 1,000 兆分之 1cc 以下

主要用途

  • CVD・蝕刻設備的氣體箱
  • 多腔體系統・氣體分歧箱

製造商

Fujikin(總部:日本)

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資料來源

  1. Fujikin 官方產品頁面:IGS