IGS(集積化氣體系統)是 Fujikin 的氣體供應系統集積化技術。將閥、過濾器、調壓器等單體元件排列在基座塊(base block)上,以 W 密封連接,構成半導體製造設備的氣體箱(gas box)。
W 密封接頭沿襲 UPG 的密封方式,以 2 支螺栓密封 1 處。可搭載壓力控制式流量控制器 FCS,不會因供應壓力變動而產生流量變動,因此在多腔體環境下也能穩定供應氣體。也具備吸收鈑金與下部基座塊製作誤差的調平系統。
縮小至既有系統的約 3 分之 1,且可從上方拆裝元件,使更換作業時間縮短至約 5 分之 1。洩漏量為每 1 秒 1,000 兆分之 1cc 以下。用於薄膜 CVD、蝕刻設備、多腔體系統與氣體分配的分歧箱,並於 2005 年獲得第 1 屆日本製造大獎(Monozukuri Nippon Grand Award)優秀獎。