集積化ガスシステム IGS®

バルブ類を集積して配管と継手をなくしたフジキンのガス供給システム。圧力式流量コントローラ FCS を組み込む。

集積化ガスシステム IGSとは

IGS（集積化ガスシステム）は、フジキンのガス供給系の集積化技術です。バルブ、フィルター、圧力調整器などの単体機器をベースブロックの上に並べ、W シールで接続して、半導体製造装置のガスボックスを構成します。

W シール継手は UPG のシール方式を受け継ぎ、ボルト 2 本で 1 か所をシールします。圧力制御式流量コントローラー FCS を搭載でき、供給圧力の変動による流量変動がないため、マルチチャンバーの環境でも安定してガスを供給できます。板金や下部ブロックの製作ばらつきを吸収するレベリングシステムも備えます。

従来システムの約 3 分の 1 に小型化し、上部から機器を着脱できるため交換作業時間を約 5 分の 1 に短縮しました。リーク量は 1 秒間に 1,000 兆分の 1cc 以下です。薄膜 CVD、エッチング装置、マルチチャンバーシステム、ガス分配の分岐ボックスに使われ、2005年に第 1 回ものづくり日本大賞の優秀賞を受けています。

主な特長

•ベースブロック＋W シールの集積化構造
•従来比約 1/3 の小型化、交換時間約 1/5
•FCS 搭載で供給圧変動に強い
•リーク量 1 秒間に 1,000 兆分の 1cc 以下

主な仕様

種類	集積化ガス供給システム
特徴	従来型の約 1/3 に小型化・一方向からのメンテナンス
関連機種	FCS（圧力式流量制御）
主要用途	半導体製造装置の超高純度ガス供給

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	キッツエスシーティー（KITZ SCT）NRD シリーズ（高圧ダイヤフラムバルブ）	フジキン（Fujikin）集積化ガスシステム IGS®
種類	高純度ガス用ダイヤフラムバルブ	集積化ガス供給システム
特徴	高圧 20.6 MPa 対応・スプリングレス構造	従来型の約 1/3 に小型化・一方向からのメンテナンス
関連機種	VRD（高圧）／VLD（汎用）／KCD（コンパクト）	FCS（圧力式流量制御）
主要用途	半導体プロセスの高圧ガスライン	半導体製造装置の超高純度ガス供給