GLANZOX 是 Fujimi Incorporated 的矽晶圓用膠體二氧化矽研磨材。於 1967 年發表。
目標是獲得高平坦性，以及無損傷、無重金屬汙染的鏡面。也有研磨晶圓端面的 GLANZOX E-Series。
GLANZOX的特點與規格
Fujimi Incorporated・研磨墊・研磨頭零件
以高平坦性與無損傷・無重金屬汙染的鏡面為目標的矽晶圓用膠體二氧化矽研磨材。1967 年發表。
產品概要
主要規格
| 種類 | 研磨材（膠體二氧化矽） |
|---|---|
| 相關產品 | GLANZOX E-Series（端面研磨用） |
| 主要用途 | 矽晶圓的鏡面研磨 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
膠體二氧化矽研磨材
無損傷・無重金屬汙染的鏡面
端面研磨用 E-Series
主要用途
- 矽晶圓的鏡面研磨
製造商
Fujimi Incorporated（總部：日本）