GLANZOXとは
GLANZOX は、フジミインコーポレーテッドのシリコンウェーハ用コロイダルシリカ研磨材です。1967年に発表されました。
高い平坦性と、ダメージや重金属汚染のない鏡面を得ることを狙っています。ウェーハの端面を研磨する GLANZOX E-Series もあります。
主な特長
- •コロイダルシリカ研磨材
- •ダメージフリー・重金属汚染フリーの鏡面
- •端面研磨用 E-Series
主な仕様
| 種類 | 研磨材（コロイダルシリカ） |
|---|---|
| 関連製品 | GLANZOX E-Series（端面研磨用） |
| 主要用途 | シリコンウェーハの鏡面研磨 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | フジミインコーポレーテッドGLANZOX | ニッタ・デュポンIC1000™ シリーズ | ニッタ・デュポンSuba™ シリーズ |
|---|---|---|---|
| 種類 | 研磨材（コロイダルシリカ） | 研磨パッド（発泡ポリウレタン） | 研磨パッド（不織布含浸） |
| 関連製品 | GLANZOX E-Series（端面研磨用） | 溝加工（XY・同心円・放射）・パーフォレーション | エッジ研磨用 |
| 主要用途 | シリコンウェーハの鏡面研磨 | デバイス CMP 全般 | シリコンウェーハの一次・二次研磨 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •シリコンウェーハの鏡面研磨
掲載カテゴリ
GLANZOXは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
フジミインコーポレーテッド
CMP（化学機械研磨）用スラリーの世界的大手メーカー。シリコンウェハ研磨から配線平坦化まで、幅広いCMPスラリー製品を半導体業界に供給する。
研磨用パッド・キャリア部品のほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07