AFEZ 是 H-Square 的桌上型自動平邊對位機。一次對齊晶圓盒內晶圓的定位平邊（Orientation Flat）方向。
對位精度為 ±1°。
AFEZ的特點與規格
H-Square・晶圓對位機（平邊・缺口對準）
一次對齊平邊的桌上型自動對位機（EZ Guide）。
產品概要
主要規格
| 方式 | 整盒一次處理（自動） |
|---|---|
| 對位對象 | 定位平邊（Orientation Flat） |
| 精度 | ±1° |
| 主要用途 | 晶圓的平邊對位 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
整盒一次自動對位
精度 ±1°
桌上型
主要用途
- 晶圓的平邊對位
製造商
H-Square（總部：美國）