AFEZとは
AFEZ は、H-Square の卓上型の自動フラットアライナーです。カセットに入ったウェーハのオリエンテーションフラット（オリフラ）の向きを一括でそろえます。
位置合わせの精度は ±1° です。
主な特長
- •カセット一括の自動位置合わせ
- •精度 ±1°
- •卓上型
主な仕様
| 方式 | カセット一括（自動） |
|---|---|
| 位置合わせ対象 | オリエンテーションフラット |
| 精度 | ±1° |
| 主要用途 | ウェーハのフラット位置合わせ |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | H-SquareANFEZ（自動ノッチアライナー） | H-SquareAFEZ（自動フラットアライナー） | ハーモテック非接触ウェーハアライナー |
|---|---|---|---|
| 方式 | カセット一括（自動） | カセット一括（自動） | 非接触保持 |
| 主要用途 | ロット管理・ID 読み取り前の位置合わせ | ウェーハのフラット位置合わせ | 極薄・反りウェーハのアライメント |
| 位置合わせ対象 | ノッチ（16 ポジション切替） | オリエンテーションフラット | — |
| 精度 | ±1° | ±1° | — |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ウェーハのオリフラ位置合わせ
掲載カテゴリ
AFEZは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
H-Square
米国のウェハハンドリング機器メーカー。ノッチアライナー・フラットアライナー・バルクアライナーのほか、ウェハ移載機、真空ピンセット、カセットなどを供給する。
オリフラ・ノッチ合わせ機のほかの製品
H-Squareのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07