最後更新:2026年10月23日晶圓對位機(平邊・缺口對準)

ANFEZ的特點與規格

H-Square・晶圓對位機(平邊・缺口對準)

將晶圓盒內晶圓的缺口一次對齊到任意角度的桌上型自動對位機(EZ Guide)。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

ANFEZ 是 H-Square 的桌上型自動缺口對位機。對應 150mm 與 200mm 晶圓,一次對齊晶圓盒內晶圓的缺口(表示方向的切口)位置。

以 EZ Guide 對位機,將晶圓缺口以 ±1° 的精度一次對位。以 16 個位置的缺口位置開關,可對準業界標準的最終缺口位置。處理能力為每小時 100 盒。

具備 ESD 防護控制,以靜電消散性材料將晶圓與晶圓盒雙方接地。快拆式滾輪組件便於維護與清潔,並依 ISO Class 3 的潔淨度設計。尺寸為 7×11×7 吋,重量 3 磅,相當精巧。

主要規格

方式整盒一次處理(自動)
對位對象缺口(notch,16 個位置切換)
精度±1°
主要用途批次管理・讀取 ID 前的對位

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

以 ±1° 一次對齊缺口
16 個位置的缺口位置開關
每小時 100 盒
ESD 防護・對應 ISO Class 3

主要用途

  • 150/200mm 晶圓的缺口對位

製造商

H-Square(總部:美國)

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資料來源

  1. H-Square 官方產品頁面:H-Square