ANFEZ 是 H-Square 的桌上型自動缺口對位機。對應 150mm 與 200mm 晶圓,一次對齊晶圓盒內晶圓的缺口(表示方向的切口)位置。
以 EZ Guide 對位機,將晶圓缺口以 ±1° 的精度一次對位。以 16 個位置的缺口位置開關,可對準業界標準的最終缺口位置。處理能力為每小時 100 盒。
具備 ESD 防護控制,以靜電消散性材料將晶圓與晶圓盒雙方接地。快拆式滾輪組件便於維護與清潔,並依 ISO Class 3 的潔淨度設計。尺寸為 7×11×7 吋,重量 3 磅,相當精巧。