1936MK5-F 是 Heller Industries 的甲酸迴焊爐。與一般迴焊爐一樣連續輸送基板,主要在均熱區注入甲酸蒸氣,在熔融前去除金屬表面的氧化膜後再進行接合。由於不使用助焊劑,不需清洗助焊劑殘留物。
甲酸濃度以起泡器(bubbler)方式供應,並即時監控・記錄。據 Heller 表示,起泡器可將濃度穩定在 0.5% 以內,並以將爐的入口與出口設為雙重門的 Formic Gate 抑制氮氣與甲酸的消耗量。
符合 SEMI S2/S8 安全規範(含有毒氣體),並備有支援至 Class 100 無塵室的選配。針對需要低孔洞接合的用途,也有在迴焊區設置真空腔體的選配。