1936MK5-F（フォーミック酸リフロー炉）

ギ酸（フォーミック酸）の蒸気で酸化膜を還元する、連続インライン式のフラックスレスリフロー炉。真空オプションあり。

1936MK5-Fとは

1936MK5-F は、Heller Industries のフォーミック酸（ギ酸）リフロー炉です。通常のリフロー炉と同じように基板を連続で流しながら、主に均熱ゾーンへギ酸の蒸気を注入し、溶融前に金属表面の酸化膜を取り除いてから接合します。フラックスを使わないため、フラックス残渣の洗浄が要りません。

ギ酸の濃度はバブラー方式で供給し、リアルタイムで監視・記録します。Heller によるとバブラーは濃度を 0.5% 以内で安定させ、炉の入口と出口を二重扉にした Formic Gate によって、窒素とギ酸の消費量を抑えます。

SEMI S2／S8 の安全規格（有毒ガスを含む）に適合し、クラス 100 までのクリーンルーム対応オプションを用意しています。ボイドの少ない接合が必要な用途向けに、リフローゾーンに真空チャンバーを設けるオプションもあります。

主な特長

•ギ酸還元によるフラックスレスの連続インラインリフロー
•Formic Gate による窒素・ギ酸の消費量低減
•SEMI S2／S8 適合、クラス 100 クリーンルーム対応オプション
•真空オプションでボイドを低減

主な仕様

方式	フォーミック酸還元のフラックスレスリフロー（連続インライン）
安全規格	SEMI S2／S8
クリーンルーム	クラス 100 対応オプション
オプション	リフローゾーンの真空チャンバー

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。