強化 FineSAT Ⅲ 功能的超音波影像設備。以自行開發的 AD 板提升檢測影像畫質，可用穿透法一次檢測直徑 300mm 晶圓。
目錄5 項
- 產品概要
- 主要規格
- 主要特點
- 製造商與在台據點
- 資料來源
產品概要
FineSAT 7 是日立電力解決方案（Hitachi Power Solutions）的超音波影像設備。為強化前代機 FineSAT Ⅲ 功能的最新機種，提升了日益微細化・多層化的半導體元件與電子零組件內部結構，以及接合部剝離・空洞・裂紋等缺陷的檢測影像畫質。
搭載自行開發、內建 FPGA 的 AD 板，取樣解析度比前代機提高 16 倍，量測週期提高 2 倍。以支援 400MHz 探頭、最高 8Gsps 的 AD 板可隨時記錄波形，並以將 1 個畫素周圍 8 處波形平均化的技術抑制隨機雜訊。
在不改變設備外形的情況下加大量測水槽，可用穿透法一次檢測直徑 300mm（12 吋）晶圓的全部層。以往需要分半面量測。標準即符合 SEMI 安全標準，且超音波輸出為 5W 以下，因此不需申報設置。
主要規格
| 探頭頻率 | 5～400 MHz |
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| 有效行程（X×Y×Z） | 350 × 350 × 80 mm |
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| 最大掃描速度 | 1,200 mm/s（標稱值） |
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| 最大量測點數 | 標準 4 億點（GUI PC 選配時 20 億點） |
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| 外形尺寸（W×H×D） | 1,590 × 1,360 × 950 mm |
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規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
自行開發的 AD 板使取樣解析度提高 16 倍・量測週期提高 2 倍 探頭頻率 5～400MHz、最大掃描速度 1,200mm/s 主要用途
- 半導體封裝內部剝離・空洞・裂紋的檢測
- 晶圓接合部的缺陷檢測
製造商
日立電力解決方案（Hitachi Power Solutions）（總部：日本）