SAM Auto Wafer 是 PVA TePla 掃描式超音波顯微鏡（SAM）中支援晶圓自動傳送的機型。依半導體業界標準開發，可準確處理 8 吋與 12 吋晶圓，並可在 ISO Class 5 的無塵室使用。
超音波顯微鏡是將高頻換能器發出的超音波脈衝，經由純水等介質照射到試片上，並將內部介面的反射成像的設備。超音波在空氣層幾乎全反射，因此能以清晰的對比偵測微裂紋、異物、氣泡與剝離。
據 PVA TePla 表示，該公司的超音波顯微鏡支援最高 1,000MHz 的頻率，視材料而定可達到 0.8µm 的解析度。該公司產品陣容還有 SAM Auto Tray、SAM Auto Panel，以及研發用的 SAM Lab。