從事 EUV 用金屬氧化物光阻設計・開發・製造的美國 Inpria 的材料。JSR 於 2021年10月將該公司收購為全資子公司。
目錄6 項
- 產品概要
- 主要規格
- 主要特點
- 常見問題
- 製造商與在台據點
- 資料來源
產品概要
Inpria 的金屬氧化物 EUV 光阻，是美國奧勒岡州 Inpria 所開發的 EUV（極紫外光）曝光用光阻。Inpria 是在 EUV 用金屬氧化物光阻設計・開發・製造方面居世界領先地位的企業。
JSR 曾參與 2017年與 2020年的募資，持有 Inpria 21% 的股份，之後取得其餘股份，於 2021年10月29日將其收購為全資子公司，收購金額為 5億1,400萬美元。Inpria 保留了原公司名稱與奧勒岡的據點。
這是不同於以往有機系化學放大型光阻的金屬氧化物系材料，定位為擴大 EUV 曝光圖案化選項的材料。
主要規格
| 對應曝光波長 | 13.5 nm（EUV） |
|---|
| 光阻種類 | 金屬氧化物系 |
|---|
| 開發商 | Inpria（美國奧勒岡州，JSR 子公司） |
|---|
| 主要用途 | 先進邏輯・DRAM 的 EUV 圖案化 |
|---|
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要用途
- 先進邏輯的 EUV 圖案化
- DRAM 的 EUV 圖案化
Inpria 金屬氧化物 EUV 光阻的常見問題
Inpria 何時成為 JSR 的子公司？
2021年10月29日完成收購手續，成為 JSR 的全資子公司。收購金額為 5億1,400萬美元。