最後更新:2026年10月23日真空幫浦

NeoDry G 系列的特點與規格

樫山工業(Kashiyama)・真空幫浦

兼具耐久性・小型・低振動・低噪音的氣冷式乾式真空幫浦。定期保養為每 6 年 1 次。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

NeoDry G 系列是樫山工業(Kashiyama)的渦卷式(scroll)乾式真空幫浦。設計上無需更換尖端密封(tip seal),沒有性能劣化與磨耗粉,也不會產生油煙或汙染真空腔體。

抽氣速度為 NeoDry7G 110L/min、15G 250L/min、30G 500L/min、36G 600L/min。極限壓力在不使用氣鎮(gas ballast)機構時為 0.7~5.0Pa。

保養只需每 3 年 1 次,也能排出水蒸氣、溶劑等可凝結性氣體。搭載變頻器,同時支援 50/60Hz,輕量精巧,並具適合研究設施的低噪音・低振動。氣鎮機構為選配。用於取代渦卷式幫浦或油旋轉幫浦。

主要規格

方式氣冷式乾式真空幫浦
特點靜音性・水蒸氣處理能力較 NeoDry-E 提升
系列組成NeoDry-E(7E ~ 300E)/NeoDry-G
主要用途半導體・電子零件等的真空排氣

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

免更換尖端密封的渦卷式
抽氣速度 110~600L/min
每 3 年 1 次保養
支援可凝結性氣體,低噪音・低振動

主要用途

  • 研究設施的真空設備
  • 取代渦卷式・油旋轉幫浦

製造商

樫山工業(Kashiyama)(總部:日本)

所屬設備分類

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資料來源

  1. 樫山工業(Kashiyama)官方產品頁面:NeoDry G