NeoDry G シリーズとは
NeoDry G シリーズは、樫山工業のスクロール型ドライ真空ポンプです。チップシールの交換が要らず、性能劣化や摩耗粉もなく、油煙の発生や真空チャンバーの汚染もない設計です。
排気速度は NeoDry7G が 110L/min、15G が 250L/min、30G が 500L/min、36G が 600L/min です。到達圧力はガスバラスト機構を使わないときで 0.7〜5.0Pa です。
メンテナンスは 3 年に 1 度で済み、水蒸気や溶剤などの凝縮性ガスも排気できます。インバーターを搭載して 50／60Hz の両方に対応し、軽量・コンパクトで、研究施設に向いた低騒音・低振動です。ガスバラスト機構はオプションです。スクロールポンプや油回転ポンプの置き換えに使われます。
主な特長
- •チップシール交換不要のスクロール型
- •排気速度 110〜600L/min
- •3 年に 1 度のメンテナンス
- •凝縮性ガスに対応、低騒音・低振動
主な仕様
| 方式 | 空冷ドライ真空ポンプ |
|---|---|
| 特徴 | 静音性・水蒸気処理能力を NeoDry-E から向上 |
| シリーズ構成 | NeoDry-E（7E ～ 300E）／NeoDry-G |
| 主要用途 | 半導体・電子部品などの真空排気 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
ドライ真空ポンプ：3機種の比較
| 項目 | Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）iXH Mk2 | 荏原製作所EV-M型 | 樫山工業NeoDry G シリーズ |
|---|---|---|---|
| 方式 | ルーツ式ドライポンプ | ドライ真空ポンプ（回転速度制御） | 空冷ドライ真空ポンプ |
| 特徴 | 入力電力 1.3 kW（前世代比 60% 減）・粉体処理機能 | 省エネ運転・最大排気量 110,000 L/min モデルあり | 静音性・水蒸気処理能力を NeoDry-E から向上 |
| シリーズ構成 | iXM／iXH／iXL | EV-M 型／EV-X 型 | NeoDry-E（7E ～ 300E）／NeoDry-G |
| 主要用途 | 多層エッチング・CVD（腐食性ガス） | エッチング・CVD・拡散 | 半導体・電子部品などの真空排気 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •研究施設の真空装置
- •スクロール・油回転ポンプの置き換え
掲載カテゴリ
NeoDry G シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
樫山工業
ドライ真空ポンプの専業メーカー。半導体・FPD製造装置向けに、堆積性・腐食性ガスに対応した多段ルーツ式ドライポンプと排ガス処理連携システムを供給する。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06