B1505A 是是德科技(Keysight)的功率元件分析儀/曲線追蹤儀。可用 1 台評估從次 pA 等級到 10kV・1,500A 的功率元件特性,除了 IGBT,也用於 GaN・SiC 等新型元件的評估。
在 10 插槽的模組化主機上,組合高電壓 SMU、大電流 SMU、超大電流模組、超高電壓模組、高電壓中電流模組、電容量測單元(1kHz~5MHz)等構成。支援至 10µs 的脈衝量測與 µΩ 級的導通電阻量測。
具備在最高 3,000V DC 偏壓下自動量測 Ciss・Coss・Crss 等電容、對封裝品與晶圓上 IGBT・FET 的閘極電荷量測,以及評估 GaN 電流崩塌(current collapse)的高速開關選配。也能自動進行 −50~+250℃ 的溫度特性評估。