半導體測試設備是什麼

測試設備是以電氣方式驗證後段製程中組裝、構裝完成的元件是否依規格運作,以確保出貨品質的類別。其目的是不良品篩選(screening)與特性評估,以及及早發現左右可靠度的弱點。由於製造製程的條件變動或材料造成的異常會反映在最終特性上,因此會將量測結果回饋至製程,以改善良率。在明確與檢測・量測分工的同時,作為最終品質的指標也占有重要地位。

細分類 7 類

主要細分類

  • •類比・線性測試系統
  • •最終測試(Final Test)設備
  • •影像感測器測試系統
  • •邏輯測試系統
  • •記憶體測試系統
  • •混合訊號測試系統
  • •晶圓針測機(Prober)

重點整理

確保後段製程的最終品質:以電氣特性判定合格與否
主要目的為不良品篩選(screening)與特性評估
結果回饋至製程,直接有助於改善良率
與檢測/量測連動,作為「品質指標」發揮作用

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