最後更新:2026年10月23日雙面拋光設備(DSP)

AC 2000 P4的特點與規格

Lapmaster Wolters・雙面拋光設備(DSP)

Lapmaster Wolters 第 3 代 microLine 的雙面研磨機。以上下研磨盤的適應控制(LPAC/UPAC)維持平行度。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

AC 2000 P4 是 Lapmaster Wolters(Peter Wolters 品牌)用於矽拋光晶圓(prime wafer)的雙面研磨設備。以上下研磨盤同時研磨晶圓兩面,目標是兼顧最高產能與最佳化的持有成本。

以 1 批 15 片處理最大 300mm(12 吋)的晶圓。主動控制研磨間隙以調整加工條件,取得最高品質的結果。配備專利的 UPAC(上研磨盤適應控制)與申請中的 LPAC(下研磨盤適應控制)。

以高精度干涉儀即時(in-situ)量測晶圓厚度,透過迴路控制精確結束研磨。配備冷卻潤滑劑流量監控、高壓修整器、附壓力分配的研磨液回收站、製程資料記錄(DataCare)、支援工業 4.0 以及觸控面板。

主要規格

加工方式雙面研削(PPG)/雙面拋光
適用工件200 ~ 450 mm 晶圓
系列組成AC 2000 P3/P4・AC 1500 P3
主要用途矽拋光晶圓(prime wafer)的研磨

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

最大 300mm,1 批 15 片的雙面研磨
以 UPAC・LPAC 進行研磨盤適應控制
以干涉儀即時量測晶圓厚度
研磨液回收・DataCare

主要用途

  • 矽拋光晶圓的雙面研磨

製造商

Lapmaster Wolters(總部:德國)

所屬設備分類

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資料來源

  1. Lapmaster Wolters 官方產品頁面:Lapmaster Wolters AC 2000 P4