AC 2000 P4 是 Lapmaster Wolters(Peter Wolters 品牌)用於矽拋光晶圓(prime wafer)的雙面研磨設備。以上下研磨盤同時研磨晶圓兩面,目標是兼顧最高產能與最佳化的持有成本。
以 1 批 15 片處理最大 300mm(12 吋)的晶圓。主動控制研磨間隙以調整加工條件,取得最高品質的結果。配備專利的 UPAC(上研磨盤適應控制)與申請中的 LPAC(下研磨盤適應控制)。
以高精度干涉儀即時(in-situ)量測晶圓厚度,透過迴路控制精確結束研磨。配備冷卻潤滑劑流量監控、高壓修整器、附壓力分配的研磨液回收站、製程資料記錄(DataCare)、支援工業 4.0 以及觸控面板。