無塵室設備是什麼
無塵室設備是為了徹底去除・控制半導體製造中最大的良率阻礙因素——微粒（微粒子）——而設的空調・過濾・氣流控制系統。結合 ULPA/HEPA 過濾器形成的單向氣流、溫濕度精密控制、正壓維持與靜電對策等，實現 ISO Class 1～5（舊 Class 1～100）的超高潔淨環境。在先進製程中，與收納晶圓的 SMIF/FOUP 微環境結合，局部進一步提高潔淨度的設計已成為標準。
重點整理
以 ULPA/HEPA 過濾器與單向氣流去除・控制微粒
維持 ISO Class 1～5（舊 Class 1～100）的超高潔淨環境
以溫濕度・正壓・靜電的精密控制確保製造品質
與 SMIF/FOUP 微環境結合，強化局部潔淨度
建置成本占半導體晶圓廠總投資很大比例的核心基礎設施
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