最後更新:2026年10月23日氣體偵測系統

PS-8 系列的特點與規格

新宇宙電機(New Cosmos Electric)・氣體偵測系統

適用半導體工廠氣體偵測警報設備的 Cosmos 式氣體偵測器。只需更換已校正的感測器單元,無需現場校正。2024年上市。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

PS-8 系列是新宇宙電機(New Cosmos Electric)適用半導體工廠的氣體偵測警報設備,於 2024年7月31日上市。可監控含矽烷(SiH₄)在內的氫化物,以及半導體製造所使用的各式特殊氣體的洩漏。

採用支援氫化物偵測的全球首款熱線型半導體式感測器。感測器壽命從過去的 1 年左右延長至最長 5 年,減少更換的工時與運轉成本。

大型液晶螢幕可顯示趨勢圖與歷史紀錄,提高了辨識性。支援 PoE 以減少配線,與 PLC 的整合也容易。具備可在主單元追加子單元或擴充單元的客製化彈性,可因應日本國內外半導體工廠的安全監控。

主要規格

偵測方式固定式(感測器單元更換式)
對象氣體砷化氫・磷化氫・乙硼烷・矽烷・氫氣等
相關機型PS-6(1997年)・PS-7(2003年)
主要用途半導體工廠的特殊材料氣體監控

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

支援氫化物的熱線型半導體式感測器
感測器壽命最長 5 年
大型液晶・趨勢顯示
支援 PoE・可追加單元擴充

主要用途

  • 半導體工廠特殊氣體(矽烷等)的洩漏監控

製造商

新宇宙電機(New Cosmos Electric)(總部:日本)

所屬設備分類

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資料來源

  1. 新宇宙電機(New Cosmos Electric)官方產品頁面:PS-8