氣體偵測系統是什麼

氣體偵測系統是偵測半導體工廠所用可燃性、毒性氣體的洩漏，並連動警報與緊急遮斷的安全設備。矽烷（自燃性）、砷化氫・磷化氫（高毒性）、氯・氟系（腐蝕性）等，所處理氣體的危險性相當多樣，須分別選用合適的偵測原理（定電位電解式、半導體式、紅外線式等）。有些氣體的容許濃度為 ppb 等級，因此偵測靈敏度高；同時也要求避免因誤報而停線的選擇性，是安全與生產力相互拉鋸的設備。