PNX332B的特點與規格

PNX332B 是岡本工作機械（Okamoto）的 300mm 晶圓全自動最終拋光機。廠商稱其為 300mm 最終拋光機的暢銷機種。

研磨頭與傳送機構採用特殊結構，具備分度傳送方式與 3 個研磨盤的拋光平台。從中段研磨到最終拋光可同時研磨 6 片，並同時傳送 4 片。

實現原子級的超鏡面・超高亮度加工，採提高邊緣輪廓與移除量均勻性的設計。可進行高精度・高產能的穩定加工，負責矽晶圓的最終研磨製程。同系列另有 PNX312。