PNX332Bとは
PNX332B は、岡本工作機械製作所の 300mm ウェーハ対応 全自動ファイナルポリッシャーです。メーカーは 300mm ファイナルポリッシャーのベストセラーとしています。
研磨ヘッドと搬送機構に特殊な構造を採用し、インデックス搬送方式と 3 テーブルのポリッシュステージを備えます。中研磨から仕上げ研磨まで 6 枚を同時に研磨でき、4 枚を同時に搬送します。
原子レベルの超鏡面・超高輝度の加工を実現し、エッジプロファイルと除去量の均一性を高める設計です。高精度・高スループットで安定した加工ができ、シリコンウェーハの最終研磨工程を担います。シリーズに PNX312 もあります。
主な特長
- •300mm 全自動ファイナルポリッシャー
- •3 テーブル・インデックス搬送、6 枚同時研磨
- •原子レベルの超鏡面加工
- •エッジプロファイル・除去量均一性の向上
主な仕様
| 研磨方式 | 片面ファイナルポリッシュ（3 テーブル） |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | 300 mm |
| 主要用途 | シリコンウェーハの超鏡面仕上げ |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •シリコンウェーハの仕上げ研磨（ファイナルポリッシュ）
掲載カテゴリ
PNX332Bは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
岡本工作機械製作所
精密研削・研磨装置の老舗メーカー。半導体向けバックグラインダー・ポリッシャー・CMPなど、ウェハ薄化と平坦化工程に強み。
ウェハ研磨・面取り装置のほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06