SUPRA Vplus 是韓國 PSK 乾式去光阻（電漿灰化）設備 SUPRA 系列中，以高生產力・高去光阻速率・高可靠度為特點的機型。
PSK 表示其在乾式去光阻設備擁有全球最大的市占率。SUPRA 系列標榜比舊有產品更高的產能與更低的持有成本（CoO）。
系列中有在大氣壓下加熱晶圓的 SUPRA N、以微波源抑制電漿損傷的 SUPRA Nm，以及不使用氧氣即可剝除硬遮罩與金屬・Low-k 底層上之光阻的 SUPRA XP。
SUPRA Vplus的特點與規格
PSK・灰化設備（光阻灰化）
PSK 乾式去光阻設備 SUPRA 系列的高生產力機型。具備高去光阻速率與可靠度，是在乾式去光阻領域擁有全球最大市占率的 PSK 之主力機種。
產品概要
主要規格
| 方式 | 乾式去光阻（電漿灰化） |
|---|---|
| 系列組成 | SUPRA Vplus／N／Nm（微波源）／XP（無氧） |
| 主要用途 | 光阻去除・離子佈植後去光阻・硬遮罩去除 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
高生產力・高去光阻速率
乾式去光阻全球市占率最大的廠商
依用途提供 N／Nm／XP 產品線
主要用途
- 光阻去除
- 離子佈植後的去光阻
- 硬遮罩去除・蝕刻後清洗
製造商
PSK（總部：韓國）