Suprema 是 Mattson Technology 的乾式去光阻設備，在遠端式感應耦合電漿（ICP）源上結合了專利的接地法拉第屏蔽。
特點是可用高密度電漿進行強還原性處理，微粒少，對晶圓表面的電漿損傷也小。也支援大量使用氟的製程。
2 個腔體各自獨立運作，各配有真空傳送模組，並以 4 臂機械手臂高速傳送。ICP 單元全球已有 1 萬台以上、平台已有 700 套以上系統在運轉。
Suprema的特點與規格
Mattson Technology・灰化設備（光阻灰化）
Mattson 採用附法拉第屏蔽 ICP 電漿源的乾式去光阻設備。已用於記憶體・晶圓代工・邏輯的量產。
產品概要
主要規格
| 方式 | 乾式去光阻（法拉第屏蔽 ICP） |
|---|---|
| 適用晶圓尺寸 | 300 mm |
| 組成 | 模組化組成・真空／大氣機械手臂（每小時超過 300 片） |
| 主要用途 | 大量去光阻（bulk strip）・DRAM／3D NAND 用（Suprema XP） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
附法拉第屏蔽的遠端 ICP
低微粒・低電漿損傷
雙腔體＋4 臂機械手臂
ICP 單元 1 萬台以上的實績
主要用途
- 大量去光阻・除渣（descum）
- 硬遮罩去除
- 邏輯・記憶體・CIS・功率・MEMS・WLP
製造商
Mattson Technology（總部：美國）