SUPRA Vplus

PSK のドライストリップ装置 SUPRA シリーズの高生産性モデル。高いストリップレートと信頼性を持ち、ドライストリップで世界最大のシェアを持つ PSK の主力機。

SUPRA Vplusとは

SUPRA Vplus は、韓国 PSK のドライストリップ（プラズマアッシング）装置 SUPRA シリーズのうち、高い生産性・高ストリップレート・高信頼性を特長とする機種です。

PSK はドライストリップ装置で世界最大の市場シェアを持つとしています。SUPRA シリーズは従来品より高いスループットと低い所有コスト（CoO）をうたいます。

シリーズには、大気圧でウェーハを加熱する SUPRA N、マイクロ波源でプラズマダメージを抑える SUPRA Nm、酸素を使わずにハードマスクやメタル・Low-k 下地の剥離を行う SUPRA XP があります。

方式	ドライストリップ（プラズマアッシング）
シリーズ構成	SUPRA Vplus／N／Nm（マイクロ波源）／XP（酸素フリー）
主要用途	フォトレジスト除去・イオン注入後ストリップ・ハードマスク除去

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	PSK HoldingsSUPRA Vplus	Mattson TechnologySuprema®	ULVAC（アルバック）Luminous NA シリーズ	Lam ResearchGAMMA®（ストリップ）
方式	ドライストリップ（プラズマアッシング）	ドライストリップ（ファラデーシールド ICP）	プラズマアッシング	プラズマストリップ（マルチステーション逐次処理）
主要用途	フォトレジスト除去・イオン注入後ストリップ・ハードマスク除去	バルクストリップ・DRAM／3D NAND 向け（Suprema XP）	イオン注入後レジスト剥離・ポリマー除去・デスカム	高ドーズ注入後ストリップ・バルクストリップ・デスカム
対応ウェハ径	—	300 mm	ウェーハサイズフリー（パネル対応型は 600 mm 角まで）	—
構成	—	モジュール構成・真空／大気ロボット（300 枚／時超）	ウェーハ用／パネル用	—