GAMMA的特點與規格

GAMMA 是科林研發（Lam Research）的光阻去除（剝除）設備系列。採用多站序列處理（MSSP）配置，可在各站獨立控制溫度、RF 功率與化學條件，因此能以 1 台設備靈活且高生產力地進行多個步驟。

透過改良的電漿源與晶圓的快速加熱，無論是大量剝除還是離子佈植後的剝除，都能以高處理量得到無殘留的結果。

以 1 台設備處理廣泛的用途與化學條件，同時將缺陷抑制在極低水準。用於高劑量佈植後剝除（HDIS）、大量剝除與除渣（descum）。有 GAMMA xPR 與 GAMMA GxT。