SAM Auto Wafer

8 インチ・12 インチウェーハを自動搬送する超音波顕微鏡（SAM）。ISO 5 クリーンルームに対応する。

SAM Auto Waferとは

SAM Auto Wafer は、PVA TePla の走査型超音波顕微鏡（SAM）のうち、ウェーハの自動搬送に対応した機種です。半導体業界の標準にもとづいて開発され、8 インチと 12 インチのウェーハを正確に扱い、ISO クラス 5 のクリーンルームで使えます。

超音波顕微鏡は、高周波のトランスデューサーから送った超音波パルスを純水などの媒体を介して試料に当て、内部の界面からの反射を画像化する装置です。空気の層では超音波がほぼ全反射するため、マイクロクラック、異物、気泡、剥離を明瞭なコントラストで検出できます。

PVA TePla によると、同社の超音波顕微鏡は最大 1,000MHz の周波数に対応し、材料にもよりますが 0.8µm までの分解能が得られます。同社は SAM Auto Tray、SAM Auto Panel、研究開発向けの SAM Lab もラインアップしています。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

SAM Auto Waferは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。

超音波映像装置（SAT：Scanning Acoustic Tomograph／超音波顕微鏡）は、水などを介して試料に高周波の超音波を当て、内部の界面から返ってくる反射波を画像化して、パッケージやウェーハの内部を非破壊で観察する装置です。

結晶成長装置と超音波検査装置のドイツ系メーカー。シリコンのCZ引き上げ炉、SiC・AlNのPVT（昇華）成長炉、真空炉、超音波非破壊検査装置を手掛ける。