ARTS 是芝浦機電（Shibaura Mechatronics）的單片式光罩清洗設備，與 MC-150 系列共同支援從次世代 EUV 光罩到傳統（legacy）光罩。
使用高溫化學品、化學品兆音波、UV 與純水清洗光罩，也可搭載不會損傷光罩的冷凍清洗。支援 6025 尺寸的光罩，採用不使用金屬的結構。
ARTS的特點與規格
芝浦機電（Shibaura Mechatronics）・光罩清洗・乾燥設備
芝浦機電（Shibaura Mechatronics）以化學品・UV・純水清洗光罩的單片式光罩清洗設備，可搭載冷凍清洗。
產品概要
主要規格
| 清洗方式 | 高溫化學品・化學品兆音波・冷凍清洗（無損傷） |
|---|---|
| 對應光罩 | 6025 光罩 |
| 特點 | 無金屬結構 |
| 主要用途 | 光罩微小異物去除 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
單片式光罩清洗
可搭載冷凍清洗（無損傷）
支援從 EUV 光罩到傳統光罩
主要用途
- 光罩微小異物去除
- EUV 光罩的清洗
製造商
芝浦機電（Shibaura Mechatronics）（總部：日本）