FOSB／FOUP 洗浄装置 FOC300 シリーズとは
FOC300 シリーズは、芝浦メカトロニクスの FOSB／FOUP 洗浄装置です。ロードからアンロードまで、ポッドとドアの分解、洗浄、乾燥、組み立てを全自動で行います。
洗浄にはオリジナルの 2 流体ノズルを使い、乾燥は真空チャンバーでランプヒーターを併用して 10Pa 以下の減圧で行います。スループットはレシピにより毎時 30 個で、300mm ウェーハ用の容器に対応し、GEM300 の標準に対応します。
パーティクル除去率は 95% 以上、アンモニアなどの吸着ガスの除去率は 80% 以上で、従来比で 5 倍以上の性能向上としています。廃水のパーティクル測定、ガス分析・湿度検査、外観検査の機能をオプションで追加でき、SEMI や CE などの国際規格に準拠しています。
主な特長
- •分解・洗浄・乾燥・組立を全自動で
- •2 流体ノズル洗浄＋減圧（10Pa 以下）乾燥
- •パーティクル除去率 95% 以上、吸着ガス除去率 80% 以上
- •毎時 30 個、GEM300 対応
主な仕様
| 対象 | 300 mm FOSB・FOUP |
|---|---|
| 洗浄方式 | 2 流体ノズル |
| 主要用途 | ウェーハ容器の洗浄 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 芝浦メカトロニクスFOSB／FOUP 洗浄装置 FOC300 シリーズ | ヒューグルエレクトロニクスFOUP／FOSB フルオート洗浄システム UPC-12500（SORA） | ダルトンFOUP 洗浄装置 |
|---|---|---|---|
| 対象 | 300 mm FOSB・FOUP | 300 mm FOUP・FOSB | FOUP |
| 洗浄方式 | 2 流体ノズル | 全自動 | 純水・高圧洗浄 |
| 主要用途 | ウェーハ容器の洗浄 | ウェーハ容器の洗浄 | ウェーハ容器の洗浄 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •300mm FOUP・FOSB の洗浄
掲載カテゴリ
FOSB／FOUP 洗浄装置 FOC300 シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
芝浦メカトロニクス
東芝グループの半導体・FPD製造装置メーカー。枚葉式の洗浄装置やスピンプロセッサ、ドライエッチング装置、成膜装置などを手掛ける。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06