MWS-SiC6的特點與規格

MWS-SiC6 是 Takatori 用於 SiC 晶錠的多線鋸。將多條鋼線並排運行，從堅硬的 SiC 晶錠同時切出多片晶圓。廠商表示其規格最適合 6 吋 SiC 切割。

以高剛性結構實現精密切割，並搭載確保穩定運轉的控制系統。具備減少耗材消耗的機構，也有監控・管理運轉狀況的功能。

SiC 非常堅硬，切割耗時，鋼線等耗材的成本也較高。隨著 SiC 功率元件普及、基板需求增加，切割工序的穩定性與成本變得更加重要。