SL473 系列是 TOWA LaserFront 的晶圓刻號機。以雷射將品名、批號等管理資訊刻印在晶圓上。
具備雷射輸出自動補償功能，除 Si・GaAs 外，也有支援 SiC・GaN 的機型。另有 2 載具・4 載具的高產能型 SL473FS／FT。
晶圓標記機 SL473 系列的特點與規格
TOWA LaserFront・晶圓雷射刻號・ID 讀取設備
將品名、批號等管理資訊以雷射刻印在晶圓上的設備。也有支援 SiC・GaN 的機型。
產品概要
主要規格
| 方式 | 雷射刻號（輸出自動補償） |
|---|---|
| 支援材料 | Si・GaAs・SiC・GaN |
| 相關機型 | SL473FS／FT（2 載具・4 載具的高產能型） |
| 主要用途 | 晶圓的 ID 刻印 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
雷射輸出自動補償
支援 Si・GaAs・SiC・GaN
高產能型 SL473FS／FT
主要用途
- 對晶圓的 ID 刻印
製造商
TOWA LaserFront（總部：日本）