ウェハマーカ SL473 シリーズ

品名やロット番号などの管理情報をウェーハにレーザー刻印する装置。SiC・GaN に対応した機種もある。

ウェハマーカ SL473 シリーズとは

SL473 シリーズは、TOWA レーザーフロントのウェハマーカです。品名やロット番号などの管理情報を、レーザーでウェーハに刻印します。

レーザー出力の自動補正機能を持ち、Si・GaAs のほか SiC・GaN にも対応した機種があります。2 キャリア・4 キャリアの高スループット型として SL473FS／FT もあります。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

ウェハマーカ SL473 シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。

ウェハマーキング・ID読取装置は、ウェハ1枚ごとに固有の識別子を刻印し、工程内でそれを読み取る装置です。

自社製レーザ発振器を用いたレーザ加工装置のメーカー。半導体ウェハに品名・ロット番号などの管理情報を刻印するウェハマーカのほか、レーザ微細加工装置、レーザトリマ、ファイバレーザ加工機、パルスレーザ溶接機を手がける。