晶圓雷射刻號・ID 讀取設備是什麼
晶圓雷射刻號・ID 讀取設備是為每 1 片晶圓刻印獨特識別碼，並在製程中讀取的設備。以雷射在晶圓邊緣的非元件區域刻上英數字或 2 維條碼，並在各設備入口讀取，便能在製造執行系統中留下哪片晶圓在何時經過哪台設備的履歷。良率下降時之所以能找出肇因設備，正是因為有這些履歷，因此它是追溯性（traceability）的起點設備。抑制刻印時的發塵與熱損傷是技術上的要點。
重點整理
以雷射在晶圓邊緣刻印獨特 ID 或 2 維條碼
在各設備入口讀取，並將製造履歷留存於 MES
成為良率下降時找出肇因設備的起點
抑制刻印時的發塵與熱損傷是技術要點
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