基準標記（Fiducial Mark）是為了讓設備的攝影機等準確辨識位置，而預先設置在基板、晶圓、光罩等上的基準記號。英文的fiducial意為「作為基準的」，也稱為辨識標記、基準點。通常做成十字、圓形、方形等簡單形狀，並設計成與周圍對比分明、容易以影像辨識。
在組裝領域，將零件自動搭載到印刷電路板上的表面黏著機（mounter），會讀取放在基板角落等處的基準標記，修正基板的位置、旋轉與伸縮後再放置零件。在半導體後段製程中，切割設備依晶圓上的標記決定切割位置，黏晶機與覆晶接合機辨識晶片與基板上的標記進行對位，晶圓針測機則利用標記對準探針與焊墊的位置。微小凸塊的間距越窄，標記的辨識精度就越左右組裝品質。
在光罩領域，設置在空白光罩上的基準標記扮演重要角色。EUV用空白光罩的多層膜中可能殘留無法去除的微小缺陷，因此會在空白光罩階段以基準標記為基準記錄缺陷位置，在描繪電路圖形時錯開配置，使缺陷隱藏在吸收層下方。為了在曝光時讓圖形各層相互疊合而製作的對準標記，廣義上也是具有相同作用的記號。