GENxplor 是 Veeco 的研發用 MBE(分子束磊晶)系統,可在最大 3 吋的基板上成長高品質磊晶層。採用經實績驗證的 3 吋成長室設計,並將真空設備與電控整合於 1 個機架,使佔地面積比競爭對手的 MBE 系統小約 40%。
備有超過 1850°C 的電子束加熱器,以及額定 1850°C 的選配超高溫基板加熱器 Nova。開放式結構使擴散爐(effusion cell)容易接近,兼顧維護性與安裝便利性。以 Molly 軟體進行配方開發、成長自動管理與資料記錄。
用於 GaAs、氮化物、氧化物、紫外光 LED、高效率太陽能電池、高溫超導體、2 維材料等的材料研究。也提供直接移轉至量產規模 GEN20、GEN200、GEN2000 的途徑。