最後更新:2026年10月8日半導體材料製程節點・電晶體中國大陸:二维材料

2D材料(二維材料)是什麼

2D Materials (Two-Dimensional Materials)

2D材料(二維材料)是由1層或數層原子構成的片狀結晶材料總稱,代表例有石墨烯,以及MoS₂、WSe₂等過渡金屬二硫屬化物(TMD),作為超越矽極限的次世代通道材料而受到研究。

定義與原理

2D材料(Two-Dimensional Materials:二維材料)是由1層或數層原子構成的片狀結晶材料總稱。代表例除了石墨烯(碳原子的六方晶格薄片)之外,還有二硫化鉬(MoS₂)、二硒化鎢(WSe₂)等過渡金屬二硫屬化物(TMD)類,以及六方晶氮化硼(h-BN)等。作為邁向超越矽極限之終極微縮的次世代通道材料,相關研究十分活躍。

在半導體元件應用上特別受矚目的是TMD系2D材料。MoS₂與WSe₂在1層原子的厚度(約0.6~0.7nm)下即具有能隙,由於通道極薄,可將短通道效應抑制到極限。矽FinFET或GAA奈米片在通道厚度小於數nm時難以維持結晶品質,2D材料可避開此問題,這是其優勢所在。此外,高遷移率、低關閉電流與優異的電性切換特性也是其特點。

2D材料的課題在於大面積、高品質薄膜的形成技術(成膜與轉印)十分困難。石墨烯可用CVD(化學氣相沉積)進行大面積合成,但TMD系的難度更高,均勻的單層形成、無損傷的基板轉印、低電阻歐姆接觸的形成等都是主要研究課題。MIT、imec、台灣大學等研究機構,以及應用材料、ASM International等設備廠商正引領技術開發。

石墨烯除了電晶體通道之外,也在評估多種應用。由於能隙為0,不適合作為邏輯電晶體,但利用其高遷移率的RF電晶體、導熱材料(散熱片)、透明電極與軟性電子等應用正在推進。此外,h-BN具有優異的介電特性,被用作2D材料元件的閘極絕緣膜與基板。

2D材料預計要到2030年代以後才會實用化,但研究投資正快速擴大,英特爾的藍圖也已納入2D材料通道電晶體。若能實現2D材料的CMOS整合,即可超越矽的極限延續微縮,並擴展至AI半導體、記憶體元件與感測器等應用。對相關材料廠商(Sigma-Aldrich等)與CVD設備廠商而言,這是備受關注的新事業機會。

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