SEMISTAR-GEKKO VD31HDA-C 是安川電機（Yaskawa）的真空環境用晶圓傳送機械手臂，在半導體製造設備的真空傳送室中高速交接晶圓。
為 4 自由度機械手臂，採用真空用直驅馬達與鋼帶，實現低汙染且高速的晶圓傳送。採雙臂設計，可縮短晶圓交換（swap）所需時間。
支援最大 300mm 的晶圓，位置重複精度為 0.05mm（P-P），本體重量 109kg。搭配控制器 SR200 使用。
SEMISTAR-GEKKO VD31HDA-C的特點與規格
安川電機（Yaskawa）・晶圓傳送機械手臂・取放系統
安川電機以真空 DD 馬達與鋼帶實現低汙染・高速傳送的真空用晶圓傳送機械手臂。
產品概要
主要規格
| 使用環境 | 真空（支援高真空） |
|---|---|
| 手臂組成 | 4 軸水平多關節・雙臂 |
| 驅動 | 真空 DD 馬達＋鋼帶 |
| 相關機型 | SEMISTAR-GEKKO MD124D（大氣用） |
| 主要用途 | 薄膜沉積・蝕刻設備的晶圓傳送 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
真空 DD 馬達＋鋼帶實現低汙染・高速
雙臂縮短交換時間
4 自由度，位置重複精度 0.05mm
支援 300mm 晶圓
主要用途
- 真空傳送室內的晶圓傳送
製造商
安川電機（Yaskawa）（總部：日本）