晶圓傳送機械手臂・取放系統是什麼

晶圓傳送機械手臂・取放系統是在載具與製程腔體之間夾取、搬運、放置晶圓的機構。分為在大氣側 EFEM 內運作的多關節機械手臂，以及在真空中運作的真空機械手臂；後者使用可避免潤滑劑蒸發的特殊軸承與磁性流體密封。接觸晶圓背面的部分會成為發塵源，因此採用邊緣夾持或白努利吸盤，定位精度要求達 ±0.1mm 等級。機械手臂的動作速度決定設備產能上限的情況也不少見。

重點整理

在載具與腔體之間傳送晶圓的多關節機械手臂機構
真空機械手臂使用可避免潤滑劑蒸發的特殊軸承與密封
以邊緣夾持或白努利吸盤避免接觸背面
機械手臂的動作速度有時會決定設備產能的上限

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